什麼是 Particle Counter?
微粒計數器(Particle Counter)用於量測空氣中或液體中存在的塵埃與不純物等微粒子,是半導體、製藥、生技產業潔淨度管理不可或缺的量測工具。
LPC
Liquid-borne Particle Counter液中微粒計數器,用於製造工程中純水等液體的清淨度管理,以及玻璃、樹脂等容器或器具所產生微粒的量測。特別是半導體製造用容器器具的微粒計測,對產品品質管理具有重要作用。
BPC
Bio Particle Counter生物粒子計數機,以細菌自家螢光為偵測對象,可即時檢測食品、飲用水、醫療用水中的細菌等生物粒子,作為水質篩選管理的即時監控工具。
為什麼量測數據常常缺乏再現性?
同一樣品,量出不同結果
使用 LPC、BPC 量測試料表面清淨度時,計測數據常包含非真實微粒的雜訊,導致再現性不足;不同作業人員、不同環境下操作,數據落差可能相當顯著。
浸漬與注水時產生的微氣泡
容器浸漬或注水過程中,液體中會自然產生微小氣泡;這些微氣泡會被 LPC/BPC 誤判為微粒訊號,且發生量會因作業人員手法與環境條件而產生極大變異。
LPC/BPC 微氣泡低減裝置
在樣品浸漬、注水的當下,降低微氣泡造成的干擾,協助取得更穩定且具再現性的量測數據。
量測流程示意圖
導入微氣泡低減裝置後,僅需在既有流程中新增一道抑制工序,即可大幅提升數據穩定性。
樣品容器準備
依製程需求備妥待測容器、器具或樣品。
浸漬/注水
傳統方式下,此步驟易因作業手法產生微氣泡。
微氣泡低減裝置處理
抑制注水、浸漬過程中產生的微氣泡干擾源。
LPC/BPC 量測
精準偵測真實微粒與生物粒子訊號。
數據輸出與分析
取得高再現性、低誤差的潔淨度評估報告。
應用場域
半導體製程純水
適用於離線(Offline)純水樣品之微粒污染管理,作為製程用水潔淨度評估的輔助量測方案。
精密電子零組件
面板、被動元件等產業製程用水與清洗液的潔淨度監控。
製藥產業
注射用水(WFI)與無菌製劑生產環境的微生物與微粒雙重監控。
生技產業
發酵、細胞培養製程用水的生物粒子即時監測,作為無菌管理與品質監控的輔助工具。
使用注意事項
標準化作業流程
浸漬或注水作業易受作業人員手法與環境條件影響,建議建立標準化 SOP 以降低變異。
定期校正儀器本體
導入裝置後仍建議定期校正 LPC/BPC 本體,確保儀器量測基準穩定。
依樣品特性調整參數
不同液體(純水、藥液、培養液)的表面張力與黏度不同,建議依實際樣品調整浸漬/注水參數。
控制量測環境
溫濕度變化與震動可能影響數據穩定性,建議於潔淨室或穩定環境下進行量測。
留意螢光干擾
BPC 量測仰賴細菌自體螢光偵測,樣品中若含其他螢光干擾物質,需留意數據判讀。
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